Крашенниников В.Н. (RU)

 Изобретение относится к получению неорганических покрытий осаждением из парогазовой фазы при разложении химических соединений, например металлоорганических (МОС), в частности к устройствам для осаждения химически стойкого и износостойкого карбидохромового покрытия, и может найти применение в машиностроении, геологоразведке, нефте- и газодобыче. Техническим результатом изобретения является...