ГУТОР ИВАН МАКСИМОВИЧ

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ РЕСПУБЛИК (19) (И) (51)4 С 07 С 11/24 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К А ВТОРСНОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21 ) 3856001/23-04 (22) 14.02.85 ° ° ° ° ° 46) 07,09.86. Бюл. Ф 33 72) 3. А. Мансуров, А. В. Мироненко, Б. Г. О Рейли, Г. О. Турешева, Т, И. Алиев, Г. И. Ксандопуло, Ю. А. Паздерский и И. М....

  Использование: для полупроводниковых устройств. Сущность изобретения: пленки получают термическим разложением диметилили диэтилцинка в присутствии окислителя, в качестве которого применяют водород-кислородную смесь и процесс проводят в режиме ее горения при давлении паров 60-80 мм рт.ст. и температуре подложки 20-50°С. 1 табл. сл с СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕ...