МАЗУР ВИКТОР АЛЕКСАНДРОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повысить чувствительность преобразователя. На одной стороне полупроводниковой пластины 2 выполнено углубление 3 в виде обращенной четырехгранной пирамиды. в которой расположен жесткий центр. На противоположной стороне пластины 2 сформирован чувствительный элемент 6, повернутый на угол 10-35 относительно диагонали основания...