Клычников Н.И.
Изобретатель Клычников Н.И. является автором следующих патентов:
Способ реактивного ионно-плазменного травления слоев ta, tan, taal
Использование: технология изготовления ИС на этапе формирования резисторов и защитных металлических покрытий. Сущность изобретения: процесс реактивного ионно-плазменного травления пленок Та, TaN, TaAl в плазме BCl3-Cl2-CCl4-N2 с дотравливанием остатков этих пленок на рельефной поверхности в плазме CF4-O2 или SF6-O2. Технический результат изобретения заключается в уменьшении разброса значе...
2194335