ЛЯЛИКОВА АННА ИВАНОВНА

  Изобретение относится к области газового анализа, в частности к массспектрометрическим способам анализа легких микропримесей в более тяжелых . газах. Может быть использовано, например , при анализе микропримеси водорода или гелия в аргоне, криптоне или ксеноне, используемых в лазерной технике, в полупроводниковой технике. а также в качестве реперных газов при реализации температу...