БЕЛОТЕЛОВ СЕРГЕЙ ВЛАДИМИРОВИЧ

  Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем, в частности к технологии изготовления фотоприемников и сверхбыстродействующих схем на подложках из антимонида индия. Цель изобретения - улучшение параметров приборов. При изготовлении полупроводниковых приборов на подложке антимонида индия р-типа проводимости проводят ионную имплантаци...