Удальцов Е.В.

 Способ изготовления кремниевых мембран, включающий шлифование, полирование и анизотропное травление подложек, отличающийся тем, что, с целью повышения точности изготовления и выхода годных, после двустороннего шлифования и полирования нерабочей стороны подложек на этой стороне производят анизотропное травление углублений до получения толщины мембран, превышающей требуемую толщину на 1,2-1...

 Способ доводки на станках для одно- и двусторонней обработки деталей, которые располагают группами в сепараторах (на планах) между двумя соосно установленными инструментами (на инструмент) и сообщают сепараторам (планам) вращение вокруг собственных осей и оси вращения инструментов, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности и качества обработки, общую суммарную площадь об...