Викерев А.А.

 Способ изготовления кремниевых мембран, включающий шлифование, полирование и анизотропное травление подложек, отличающийся тем, что, с целью повышения точности изготовления и выхода годных, после двустороннего шлифования и полирования нерабочей стороны подложек на этой стороне производят анизотропное травление углублений до получения толщины мембран, превышающей требуемую толщину на 1,2-1...