СТЕРЛИГОВ ВАЛЕРИЙ АНАТОЛЬЕВИЧ

  СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК (19) (11) А1 (5И4С 02 В 5 18 Ч g (I: 1 ъ1 ъ ° % ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ASTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР IN ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3477217/!8-10 (22) 04.05.82 (46) 30.10.86. Бюл. У 40 (71) Институт полупроводников АН УССР (72) Н.А.Власенко, Ф.А.Назаренков и В.А. Стерлигов (53) 535.853.31 (088.8) (5...

  Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для определения размеров микрочастиц, находящихся в газовой или жидкой среде, а также на полированной поверхности. Цель - упрощение способа путем использования относительных измерений и повышение точности определения размеров путём устранения зависимости от положения микрочастицы относительно оси о...

  Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для регистрации дефектов на поверхности круглых объектов, например полупроводниковых пластин, оптических линз и т.п. Цель изобретения - повышение точности регистрации дефектов путем увеличения достоверности определения края контролируемого объекта. Для этого в устройстве, содержащем источник света,...

  Использование1 контрольно-измерительная техника, в частности дефектоскопия полированной поверхности полупроводниковых пластин и оптических деталей. Сущность изобретения, устройство содержит лазер (1), сканирующее устройство (2), фотоприемник (4), синхронизатор 6, 4 запоминающих устройства (7, 9, 13, 14), блок 8 счета и отображения информации, компаратор (12), элемент И (10), филь...