ЛЫСОВ ВИКТОР ИВАНОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике, в частности к контролю формы объектов и рисунка на ни У-стройство позволяет повысить точность измерения фотошаблонов и полупроводниковых плат с различным качеством рисунков за счет изменения угла падения зондирующего пучка. Дпя этого устройство содержит дефлектор, установленный между конденсором и держателем объекта и выполненный из...

  Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности и производительности измерения за счет исключения вращения фотоприемника и погрешностей, возникающих при этом. Устройство содержит последовательно расположенные на оптической оси источник 1 монохроматического когерентного света, систему 3 формирования пучка, держатель 5 объекта измерения, фотоприе...