НИКОЛАЕВА НИНА БОРИСОВНА

  Изобретение относится к измерительной технике, в частности к контролю формы объектов и рисунка на ни У-стройство позволяет повысить точность измерения фотошаблонов и полупроводниковых плат с различным качеством рисунков за счет изменения угла падения зондирующего пучка. Дпя этого устройство содержит дефлектор, установленный между конденсором и держателем объекта и выполненный из...