ХЕЛЛЬМАНН Дитмар (DE)

 Использование: в технологии изготовления полупроводниковых приборов. Технический результат изобретения заключается в обеспечении возможности создания детали из кварцевого стекла с шероховатой поверхностью, особенно пригодной для сцепления с осажденными из газовой фазы слоями, с длительным сроком службы. Сущность: деталь из кварцевого стекла для применения при изготовлении полупроводников...