ДОБРОЛЕЖ СЕРГЕЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ

  Изобретение относится к растровой электронной микроскопии. Цель изобретения - повышение точности измерения потенциала поверхности. Устройство включает энерг.оанализатор в составе вытягивающего и анализирующего электродов 5, сцинтилляцибнный преобразователь 7 с фотоэлектронным умножителем 8, схему 14 сравнения и задающий генератор 16, селективный усилитель -9 переменного тока с вь...

  Изобретение относится к контролю изделий электронной техники, в частности может быть использовано для выявления микросхем (МС) со скрытыми дефектами. Цель изобретения - сокращение времени контроля МС. Цель достигается тем, что до герметизации МС освещают всю поверхность полупроводникового кристалла. При этом происходит изменение выходного напряжения МС, на которую подано номинальн...