ПАНКРАТОВ ВЛАДИМИР ВИТАЛЬЕВИЧ

  Изобретение относится к системам формирования электронного зойда в растровых электронных микроскопах. Цель изобретения - уменьшение времени анализа и упрощение конструкции. .При флуктуациях высокого напряжения его переменная составляющая подается на провод5пцнй магнитопровод 3 фокусирующей линзы и объектодержатель 4. При этом обеспечивается постоянство энергии электронов зондов о...