САГАЛОВИЧ ГЕННАДИЙ ЛЬВОВИЧ

  Изобретение относится к области накопления информации. Цель изобретения - увеличение объема записываемой информации путем размещения информационных элементов на нескольких слоях по глубине носителя . Последовательное облучение информационного носителя электронным пучком с энергиями для заполнения точечных дефектов электронами с последующим нагревом носителя до температур возникно...

  С01ОЭ СОВЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСНИ Х РЕСПУБЛИК ((9l + (((l С 11 4 G 01 N 21/17, 19/04 ф ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ, ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЭОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ К А BTOPCKOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4125874/31-25 (22) 01.10.86 (46) 23.04.88. Бюл, 11 - 15 (71) Рижский политехнический институт им.А.Я.Пельше (72) P ß. Акмене, А.Я.Балодис, А.Б.Вайнштейн9 Ю.Д.Дехтяр, М.М.Калн...

  Изобретение относится к технологии, производства полупроводниковых приборов и может быть использовано для контроля концентрации дефектов, в частности вакансий. Цель изобретения - обеспечение возможности определения концентрации вакансий. Кристалл нагревают с постоянной скоростью при одновременном облучении ультрафиолетовым светом с энергией фотона , равной фотоэлектрической работ...

  Сущность изобретения: нагревают образец до 300°С с одновременным облучением ультрафиолетовым излучением с энергией фотонов Е. Энергия фотонов больше фотоэлектрической работы выхода электрона и меньше энергии связи кремний-водород . В ходе нагрева определяют ток экзоэлектронной эмиссии. Охлаждают образец до исходной температуры и облучают ультрафиолетовым излучением с энер...

  Использование: в технологии полупроводниковых приборов, в частности в способах контроля процессов ионного травления пленок. Сущность изобретения: облучают пленку ультрафиолетовым излучением. Регистрируют зависимость изменения фотото- .ка от времени травления, по виду которой определяют момент окончания процесса. 2 ил. -. -.. „„Ы2„„1806419 А3 СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ...