КОРОЛЬКОВ ВИКТОР ПАВЛОВИЧ

  Изобретение относится к оптическому приборостроению и позволяет уменьшить брак и повысить точность выполнения топологии. Способ основан на экспонировании нанесенной на оптическую подложку 7, установленную на шпинделе 8, тонкой пленки и последующей обработки в химическом травителе. Одновременно с экспонированием измеряют локальное изменение коэффициента отражения пленки под действ...