ПАРНАСОВ ВЛАДИСЛАВ СЕРАФИМОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины покрытий с помощью отраженного излучения. Целью изобретения является повышение точнос ти измерения толщины многокомпонентного покрытия за счет устранения влияния параметров подложки и геометрии измерения на результат путем введения третьего детектора 7, мишени 8, блока 9 логарифмирования...

  Изобретение относится к радиометрическим методам измерения толщины и может быть использовано в микроэлектронике и приборостроении. Цель изобретения - повышение точности за счет обеспечения одновременного измерения интенсивности как для неослабленного излучения, так и излучения, прошедшего через образец, одним и тем же координатно-чувствительным детектором (КЧД). В устройстве в ка...