СВЕТЛОВ ВЛАДИМИР НИКОЛАЕВИЧ

  Изобретение относится к анализу состава газов в вакуумных электронных устройствах . Цель - новышение экспрессности и упрощение снособа детектирования атомарного водорода. Способ заключается в следующем: в вакуумной камере поддерживают рабочий вакуум 10 Па. Состав остаточных газов и паров воды контролируют масс-спектрометром (МСП), который одновременно служит для регистрации молек...