БЕРЕЗНАЯ С.А.

  Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано в технологическом процессе обработки гомогенных монокристаллов диарсенида кадмиягермания. Целью изобретения является увеличение выхода годного материала за счет обеспечения очистки от включения вторых фаз и поверхностных окислов. Обработку диарсенида кадмия-германия проводят химическим травл...