ВЕСТФАЛЬ ОЛЬГА ЛЕОНИДОВНА

  Изобретение относится к сменным мембранным фильтрам, предназначено для микроочистки газов в техпроцессах микроэлектроники , но может быть использовано и в других областях, например в процессах фильтрации; оно позволяет увеличить в два /7/if / J 72 раза эффективную площадь фильтрации, производительность фильтра и обеспечивает высокую коррозионную стойкость в агрессиБны.х средах. Ф...