ЗМЕЕВ ЮРИЙ ВАЛЕНТИНОВИЧ

  Изобретение относится к микро- , зондовой технике. Цель - повьпление достоверности контроля. Она достигается тем, что в способе функционального контроля интегральных схем (ИС) с помощью специального устройства (У) из сигнала, несущего информацию о топологии и потенциалах образца, исключается сигнал, соответствующий топографическому контрасту схемы, в результате чего на видеоконтр...