ПИЛЬГУН ГАЛИНА ЕВГЕНЬЕВНА

  Изобретение откосится к арматуростроению и может быть использовано в вакуумной технике, иапример В плаэмохимичсском оборудовании, термическом оборудовании для ттроцессов осаждения слоев на кремниевую подложку, диффузионном и окислительном оборудовании. Цель изобрете ГОСУДАРСТВЕННЫЙ KOMHTET СССР 00 ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРОЮ ping F 16 K1/24 (21 ) 3937465/23-08(22) 30.0I.85 (4...