БАРХАТОВ В.А.

  Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для сор.тировки поликристаплических корундовых подложек, предназначенных для изготовления СВЧ- устройств. Целью изобретения являет-; ся обеспечение возможности различения подложек, преимущественно толщиV гтг. 1 10 ной от 0,5-10. до . ,и по. их структурному состоянию и связанному с ним распределению параме...