ПОЛЯШЕНКО РЭМ ФЕДОРОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения тонкопленочных структур , где качество изделия определяется толщиной нанесенного слоя. Целью изобретения является измерение тонких пленок без их разрушения или изменения физико-химических свойств. Исследуемый образец перед регистрацией экзоэлектронной эмиссии (ЭЗЭ) облучают потоком электронов и отжигают ,...