МЕДНИКОВА ОЛЬГА СОЛОМОНОВНА

  Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения тонкопленочных структур , где качество изделия определяется толщиной нанесенного слоя. Целью изобретения является измерение тонких пленок без их разрушения или изменения физико-химических свойств. Исследуемый образец перед регистрацией экзоэлектронной эмиссии (ЭЗЭ) облучают потоком электронов и отжигают ,...

  Изобретение может быть использовано в приборостроении, микроэлектронике , радиоэлектронике для контроля качества поверхности материалов. Устройство для измерения поверхностного потенциала содержит вакуумную камеру 1, в которой размещены катод 2 из вольфрама, формирующий элемент 3, источник 4 постоянного напряжения и образец 5, электрометрический усилитель 6, аналого-частотный пре...