ЕРМАКОВ МИХАИЛ ГЕОРГИЕВИЧ

  Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для определения потенциалов на границах раздела в полупроводниковых структурах. Целью изобретения является расширение функциональных возможностей путем обеспечения возможности определения потенциалов на нескольких границах раздела в многослойных полупроводниковых структурах. Многослойную структуру облучаю...