БУРЕНКОВ АЛЕКСАНДР ФЕДОРОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для неразрушающего контроля толщины тонких слоев, нанесенных на подложки, отличающиеся по элементному составу от вещества слоя. Целью изобретения является увеличение точности измерения толщины слоев. На объект контроля под углом меньше 90 к поверхности слоя направляют поток протонов, измеряя их интегральный з...