КУДРЯ СЕРГЕЙ ДМИТРИЕВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля отклонений линейных размеров элементов фотошаблонов в процессе их изготовления. Целью изобретения является повышение точности контроля отклонений размеров. Устройство для контроля отклонений размеров фотошаблонов содержит емкостную тестовую структуру, вьшол-, ненную в виде конденсатора с комплана...