АСТАШИН ВАЛЕРИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ

  Изобретение относится к неразрушающему контролю материалов и может быть использовано для контроля пластин кремния при производстве микросхем. Целью изобретения является повьш1ение чувствительности и достоверности контроля материалов за счет обеспечения возможности регистрации сигналов в широком спектре частот. На одном из торцов образца возбуждают объемные гиперзвуковые акустичес...