Рухадзе А.А.

 Использование: ионная техника. Сущность изобретения: для получения пучка ионов в разрядном объеме осуществляют генерацию плазмы путем возбуждения в нем безвихревой электрической компоненты высокочастотного поля и аксиально симметричного стационарного магнитного поля, которое создают неоднородным, спадающим к оси симметрии разрядного объема. В генерируемой плазме возбуждают собственные эле...

 Группа изобретений относится к плазменной технике и технологии обработки материалов. Плазменный реактор содержит разрядную камеру с газораспределителем, камеру обработки вещества, магнитную систему, создающую в полости камеры стационарное неоднородное магнитное поле, и узел ввода высокочастотной энергии, состоящий из двух секций. В первом варианте исполнения первая секция выполнена в виде...