ЧАСНИКОВ АЛЕКСЕЙ ИВАНОВИЧ

  Изобретение относится к устройствам для элементного анализа поверхности материалов методом спектроскопии Оже (О)-элек тронов. Цель - расширение функциональных возможностей О-микроанализа поверхности твердых тел. Спектрометр О-электронов содержит микрофокусную электронную пунь ку 1, металлический экран 4, электроды (Э) 6, 7 цилиндрического зер кального анализатора (ЦЗА), причем Э...