ГУРЕВИЧ ИГОРЬ ФЕЛИКСОВИЧ

  Изобретение может быть использовано в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования.Цель изобретения - увеличение апертуры и улучшение коррекции аберраций. В объективе положительный мениск 4 обращен выпуклостью к плоскости предмета. На расстоянии 0,08 фокусного расстояния объектива от склеенных положительного 6 и отрицательного 7 менисков размещен отрицательный мениск 8...

  Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в проекционных системах экспонирования, в частности в ретушировании дефектов промежуточных фотооригиналов. Целью изобретения является увеличение разрешающей способности объектива за счет увеличения апертуры до А<SP POS="POST">1</SP>=0,37, улучшения коррекции аберраций, а также увеличения заднего отрез...

  Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования для изготовления полупроводниковых приборов. Цель изобретения - увеличение поля зрения объектива. Проекционный объектив содержит одиннадцать компонентов, первый из которых отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов с соотношением ра...

  Изобретение относится к оптическому приборостроению и м.б. использовано в микроэлектронике. Цель изобретения - увеличение числовой апертуры и поля зрения при телецентрическом ходе лучей в пространстве предметов. Объектив содержит положительные мениски 1, 3, 9,10,13, 18, отрицательные мениски 4, 6, 11, 12, двояковыпуклые линзы 2, 7, 8, 14-16. Числовая апертура 0,35; поле зрения 21...

  Изобретение относится к устройствам проекционной печати, в частности к фотоэлектрическим устройствам для стабилизации качества изображения. Цель изобретения - повышение точности путем стабилизации качества изображения за счет компенсации сферической аберрации. Изображение сканирующего растра 2 через полупрозрачное зеркало 3 объективом 4 создается на поверхности предмета 17. Отраж...

  Использование: проекционные системы -экспонирования для изготовитения полупроводниковых приОоров. Сущность изобретения: обеъктив содеротт 20 линз, собранных в 15 компонентов, Второй компонент склеен ич двояковыпуклой 4 и двояковогнутой 5 линз. Мениски 7 и 11 айюкальные. Числовая апертура - 0,38, после изображения - 22 мм, рабочая область спектра - 404,66 + 5 нм. 1 ил. СОЮЗ СО...