САЧОК НИКОЛАЙ ПЕТРОВИЧ

  Изобретение может быть использовано в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования.Цель изобретения - увеличение апертуры и улучшение коррекции аберраций. В объективе положительный мениск 4 обращен выпуклостью к плоскости предмета. На расстоянии 0,08 фокусного расстояния объектива от склеенных положительного 6 и отрицательного 7 менисков размещен отрицательный мениск 8...

  Использование: проекционные системы -экспонирования для изготовитения полупроводниковых приОоров. Сущность изобретения: обеъктив содеротт 20 линз, собранных в 15 компонентов, Второй компонент склеен ич двояковыпуклой 4 и двояковогнутой 5 линз. Мениски 7 и 11 айюкальные. Числовая апертура - 0,38, после изображения - 22 мм, рабочая область спектра - 404,66 + 5 нм. 1 ил. СОЮЗ СО...