Тазенков Б.А.

 1. Устройство для нанесения фотопроводниковых слоев в вакууме, содержащее подложкодержатель для герметичной установки на него цилиндрической подложки, выполненный в виде стяжной трубы со сквозными продольными пазами и системы подвода и отвода теплоносителя в виде двух коаксиальных труб, установленных внутри стяжной трубы, и двух фланцев с прокладками, установленных на стяжной трубе с возм...

 1. Испаритель, содержащий парообразователь, парораспределитель с отверстиями для выхода пара, питатель с запорным клапаном, установленный между парообразователем и парораспределителем, и нагреватель, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет улучшения их однородности и воспроизводимости, площадь сечения питателя равна 0,01-0,001 площади внутренней поверхности паро...