Галченков Д.В.

 Изобретение относится к электронной технике, в частности к устройствам для жидкофазной эпитаксии многослойных полупроводниковых структур, и может быть использовано при производстве светоизлучающих приборов. Целью изобретения является увеличение производительности устройства. Суть изобретения состоит в том, что держатель выполнен многосекционным для вертикального попарного размещения подло...