Васин О.И.
Изобретатель Васин О.И. является автором следующих патентов:
Способ получения пленок твердых растворов и устройство для его осуществления
1. Способ получения пленок твердых растворов, включающий напыление на подложку из молекулярного пучка элементов твердого состава, образуемого при их нагреве в источниках, в сверхвысоком вакууме, отличающийся тем, что, с целью получения пленок с заданным профилем химического состава по толщине, на поверхность растущей пленки направляют монохроматический электронный пучок с энергией, в 1,5-...
1307905