Ермолаева А.И.

  Использование: микроэлектроника, технология изготовления кремниевых структур с диэлектрической изоляцией. Сущность изобретения: при изготовлении кремниевой структуры с диэлектрической изоляцией элементов проводят двустороннюю механическую обработку исходной монокристаллической и опорной кремниевых пластин, формируют в исходной монокристаллической кремниевой пластине рельеф и скрытый слой...

  Использование: для изоляции алюминиевой проводниковой разводки газоразрядных индикаторных панелей, а также для межслойной, межкомпонентной изоляции, планаризации, бескорпусной защиты интегральных схем, спаивания кремниевых структур при изготовлении микросборок и сенсоров и в других областях электронной техники. Сущность изобретения: стекло, преимущественно для изоляции алюминиевой провод...

 Использование: для диэлектрической изоляции активных элементов кремниевых интегральных схем и создания структур кремний-на-изоляторе (КНИ) и кремниевых структур с диэлектрической изоляцией (КСДИ). Стекло для структур кремний-на-изоляторе имеет следующий состав, в мас.%: оксид кремния 57-70 БФ SiO2, оксид алюминия 10-20 БФ Al2O3, оксид бария 9-25 БФ BaO, оксид стронция 1-12 БФ SrO, оксид ц...

 Использование: для диэлектрической изоляции активных элементов кремниевых интегральных схем и создания структур типа кремний-на-изоляторе (КНИ) и кремниевых структур с диэлектрической изоляцией (КСДИ). Стекло для стеклокристаллического диэлектрика для структур кремний-на-изоляторе содержит в мас.%: оксид кремния 46-59 БФ SiO2, оксид алюминия 20-23 БФ Al2O3, оксид бария 16-28 БФ BaO, оксид...

 Изобретение относится к составам стекол для легкоплавких ситаллоцементов, предназначенных, преимущественно, для формирования антибликового черного покрытия на газоразрядных индикаторных панелях и плазменных дисплеях. Предложенные ситаллоцементы позволяют получать покрытия с повышенными антибликовыми свойствами, температуроустойчивостью и адгезией к стеклопластинам. Легкоплавкое стекло для...

 Использование: изобретение относится к составам легкоплавких стеклокристаллических композиционных материалов, предназначенных для спаивания стеклопластин, в частности при изготовлении газоразрядных индикаторных панелей; для спаивания кремниевых пластин при изготовлении структур кремний-на-изоляторе и интегральных сенсоров; для защиты и герметизации электронных компонентов и интегральных с...