РАЙНЕР ПЛОНТКЕ

  Изобретение относится к контрольно-измерительной технике. Целью изобретения является обеспечение контроля геометрических параметров микро.труктур. -Схема устройства содержит центральное устройство, предназначенное для анализа сигнала с У2 fB (Л СОЮЗ СОВЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ РЕСПУБЛИН (19) (11) (su 4 С 01 В 21/30 gf Fл ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕ1ЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУ...