БРИЧКОВСКИЙ ВЯЧЕСЛАВ ИВАНОВИЧ

  Изобретение относится к области электрохимии и может быть использовано в технологии производства интегральных микросхем. Цель изобретения - повышение качества обработки.. Сущность изобретения заключается в том, что значение напряжения на электродах ванны 14 измеряется блоком (О и регулируется по каналу: измерительный блок 10 - общая шина 1 - блок 2 управления - коммутатор 3 - циф...