PatentDB.ru — поиск по патентным документам

КЛЕМБЕК СЕРГЕЙ ПЕТРОВИЧ

Изобретатель КЛЕМБЕК СЕРГЕЙ ПЕТРОВИЧ является автором следующих патентов:

Кассета для диффузии

Кассета для диффузии

  Изобретение относится к полупроводниковой технике,может быть использовано для проведения процессов диффузии в полупроводниковые пластины из плоскопараллельного источника в потоке газа-носителя и позволяет повысить производительность и увеличить срок службы пластин источника. Кассета содержит две рамки, установленные одна в другой. Рамка для пластин источника имеет три держателя с...

1318618