МЕНЬШИКОВ ЮРИЙ РОДИОНОВИЧ

  Изобретение относится к полупроводниковой технике,может быть использовано для проведения процессов диффузии в полупроводниковые пластины из плоскопараллельного источника в потоке газа-носителя и позволяет повысить производительность и увеличить срок службы пластин источника. Кассета содержит две рамки, установленные одна в другой. Рамка для пластин источника имеет три держателя с...

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления с повышенной чувствительностью и пониженной величиной питающего напряжения. Цель - повышение чувствительности и уменьшение габаритов. Это достигается тем, что тензорезисторы 2 располагаются на прямоугольной мембране 1 в зоне максимальных напряжений на пересечении биссектрис. При этом дли...