ТУЗОВ ВИКТОР АЛЕКСЕЕВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повысить точность определения оптимальной экспозиции . Фотополимеризующуюся композицию-фоторезист 8 наносят поверх копланарных электродов 7 на тест-плату 6. Измерение емкости и тангенса угла диэлектрических потерь производят до облучения, в процессе облучения фоторезиста 8 потоком актиничного излучения источника 3 и после...

  СООЗ СОВЕТСНИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ РЕСГ1УЬЛИН „.SU„„1652939 А1 (gg)e (0! R 27/00 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Н А ВТОРСНОМ,Ф СВИДЕ"ТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯЦ ПРИ ГННТ СССР (21) 4213826/21 (22) 23.03.87 (46) 30.05.91. Бюл. ¹ 20 (71) Отделение Всесоюзного научноисследовательского института электромеханики и Московский авиационный институт им. Серго Орд...