КАПКОВА ВАЛЕНТИНА АЛЕКСАНДРОВНА

  Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повысить точность определения оптимальной экспозиции . Фотополимеризующуюся композицию-фоторезист 8 наносят поверх копланарных электродов 7 на тест-плату 6. Измерение емкости и тангенса угла диэлектрических потерь производят до облучения, в процессе облучения фоторезиста 8 потоком актиничного излучения источника 3 и после...