АНИКИН ВИТАЛИЙ ИВАНОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения распределения толщины пленок в интегральной оптике. Цель изобретения - повышение производительности измерений - достигается визуализацией распределения толщины пленки при одновременном измерении толщины пленки в характерных точках. С помощью источника света 7 формируют оптической системой 8 расх...