МАКОВСКИЙ ВЛАДИМИР ФОМИЧ

  Изобретение относится к энергоанализу пучков вторичных электронов и может быть использовано в растровой спектроскопии . Но способу регистрации вторичны.х электронов образец, исследуемая поверхность которого совмещена с осью симметрии цилиндрического зерка,льного анализатора и находится под потенциалом, сканируют электронным пучком, регистрируют вторичные электроны и анализируют и...