Недыбалюк А.А.

 Изобретение относится к вакуумной технике. Цель упрощение конструкции устройства для нанесения диэлектрических покрытий катодным распылением в вакууме, повышение его экономичности. Устройство содержит катод-мишень 1, подложку (П) 2, подложкодержатель 3, нагреватель 4, кольцевой анод (КА) 5. Для достижения цели на КА 5, равномерно по его периметру, сделаны выступы 6 игольчатой формы, напри...

  Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано для создания изделий электронной техники, радиотехники, оптики и др. С целью увеличения коэффициента полезного использования распыленного материала в устройстве, содержащем магнетронную систему, состоящую из кода с мишенью и полюсных наконечников и анода, а также подложкодержатель, оси симметрии подложкодержат...

 Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано в технологических вакуумных установках для создания изделий электронной техники, радиотехники, оптики и др. Сущность: устройство для магнетронного распыления материалов в вакууме содержит подложкодержатель с приводом для его вращения, анод, магнетронную систему с двумя катодами и расположенными под углом к оси...