ШЕЛЕСТ ОЛЕГ АНИСИМОВИЧ

  Изобретение относится к области измерения малых потоков газа и позволяет обеспечить расширение диапазона калибруемых течей и повышение точности измерении путем создания газовых потоков с малыми эталонными концентрациями пробного газа и поддержание одинаковой газовой нагрузки на течеискатель при подаче пробного газа в него. В масс-спектрометрический течеискатель 8 подают равные по...