БЛИНОВ ВИКТОР ВЛАДИМИРОВИЧ

  Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано в устройствах манипуляторов, работающих В вакууме. Цель изобретения состоит в расширении технологических возможностей за счет увеличения хода штока, повышения точности его перемещения и обеспечения жесткости фиксации при его максимальном вылете. Устройство содержит корпус 1, к которому герметично присоединен...

  Изобретение позволяет повысить надежность работы высоковакуумного клапана за счет увеличения срока службы сипьфона и уменьшить габариты за счет прямоугольной формы выполнения проходных отверстий в корпусе. В полости корпуса с горловиной. 10 и проходными соосными отверстиями 8 размещен запорный элемент. СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК

  Использование: в технологии получения тонкопленочных многослойных покрытий. Устройство содержит вакуумную камеру, в которой размещены подложки и источник молекулярных пучков. Источник выполнен в виде кольцевой камеры с отверстиями на внутренней поверхности . Отверстия могут быть выполнены в виде кольцевой щели. Кольцевая камера может быть выполнена из отдельных независимых сектор...

  Изобретение м.б. использовано в сверхвысоковакуумных установках для молекулярно-лучевой эпитаксии. Цель изобретения - повышение надежности клапана. Запорный орган 2 со штоком 4 кинематически связан с узлом создания усилия уплотнения и механизмом привода 5 и соединен с корпусом 1 элементами крепления. Узел создания усилия уплотнения выполнен в виде изолированной пневмокамеры 6 из...