Тюгина С.В.

 (19)SU(11)1338451(13)A1(51)  МПК 6    C23C16/00(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ГАЗОВОЙ (ПАРОВОЙ) ФАЗЫ Изобретение относится к области получения неорганических покрытий осаждением из паровой (газовой) фазы при разложении химических соединен...