Варакин В.Ф.

  Изобретение относится к обработке изделий в вакууме. Цель изобретения - упрощение конструкции и повышение надежности его работы. Для перемещения магазина 30 подложкодержателей 4 из шлюзовой камеры в рабочую камеру (РК) 1 фланец (Ф) 31 поджимается к плоскости входного окна 7. При этом между Ф 2 и Ф 31 образуется полость с атмосферным давлением. После вакуумирования указанной полости шток...